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Vol: 129 Núm: 4 Par: 0 (2007)
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ARTÍCULO
TITULO
A Modeling Approach for Predicting the Abrasive Particle Motion During Chemical Mechanical Polishing
Elon J. Terrell and C. Fred Higgs III
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 933 - 941
NÚMERO
Volumen: 129 Número: 4 Parte: 0 (2007)
MATERIAS
INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL
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