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JOURNAL OF TRIBOLOGY

Inicio / JOURNAL OF TRIBOLOGY / Vol: 132 Núm: 4 Par: 0 (2010) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Coffee Stain Ring Effect and Nonuniform Material Removal in Chemical Mechanical Polishing

Jianguo Xin

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 0 - 0

NÚMERO

Volumen: 132 Número: 4 Parte: 0 (2010)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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