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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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Vol: 72 Núm: 9 Par: 0 (2001)
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ARTÍCULO
TITULO
Multidimensional motion measurement of a bimorph-type piezoelectric actuator using a diffraction grating target
Kim
Jong-
Ahn
Bae
Eui Won
Kim
Soo Hyun
Kwak
Yoon Keun
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 3731 - 3733
NÚMERO
Volumen: 72 Número: 9 Parte: 0 (2001)
MATERIAS
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