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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 82 Núm: 2 Par: 0 (2011) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Three-beam interference lithography methodology

J. L. Stay

G. M. Burrow

and T. K. Gaylord

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 0 - 0

NÚMERO

Volumen: 82 Número: 2 Parte: 0 (2011)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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