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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 73 Núm: 8 Par: 0 (2002) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Precision auto-alignment for the specimen stage of an ellipsometer

Park

Sunglim

Jung

Jaewha

Gweon

DaeGab

Kim

Young Dong

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2988 - 2993

NÚMERO

Volumen: 73 Número: 8 Parte: 0 (2002)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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