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ARTÍCULO
TITULO

A pulser for medium-frequency modulated direct-current reactive sputter deposition of insulators

Kiehne    
G. T.    
Lin    
M. Z.    
Wang    
G.    
Xiang    
W. H.    
Cao    
H.    
Ketterson    
J. B    

Resumen

No disponible

PÁGINAS
pp. 2560 - 2562