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MATERIALS CHARACTERIZATION

Inicio / MATERIALS CHARACTERIZATION / Vol: 50 Núm: 2-3 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Silicon clusters in PECVD silicon-rich SiO~xN~y

Oliveira

R. A. R. Ribeiro

M. Pereyra

I. Alayo

M. I.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 161 - 166

NÚMERO

Volumen: 50 Número: 2-3 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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