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MATERIALS CHARACTERIZATION

Inicio / MATERIALS CHARACTERIZATION / Vol: 50 Núm: 2-3 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Study of nitrogen-rich silicon oxynitride films obtained by PECVD

Criado

D. Pereyra

I. Alayo

M. I.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 167 - 172

NÚMERO

Volumen: 50 Número: 2-3 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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