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MATERIALS CHARACTERIZATION

Inicio / MATERIALS CHARACTERIZATION / Vol: 50 Núm: 2-3 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Insulators obtained by electron cyclotron resonance plasmas on Si or GaAs

Diniz

J. A. Doi

I. Swart

J. W.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 135 - 148

NÚMERO

Volumen: 50 Número: 2-3 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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