REVISTA
JOURNAL OF TRIBOLOGY

Inicio / JOURNAL OF TRIBOLOGY / Vol: 127 Núm: 3 Par: 0 (2005) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Revisiting the Removal Rate Model for Oxide CMP

Jamshid Sorooshian

Leonard Borucki

David Stein

Robert Timon

Dale Hetherington

and Ara Philipossian

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 639 - 651

NÚMERO

Volumen: 127 Número: 3 Parte: 0 (2005)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

Revistas destacadas

Acceso directo a los números publicados en la revista Infrastructures

Infrastructures

Acceso directo a los números publicados en la revista Informed Infraestructure

Informed Infraestructure

Acceso directo a los números publicados en la revista BiT

BiT

Acceso directo a los números publicados en la revista Revista de la Construcción

Revista de la Construcción

Ver todas las revistas