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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

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Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 74 Núm: 8 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Enhancement of implantation energy using a conducting grid in plasma immersion ion implantation of dielectric/polymeric materials

Fu

R. K. Y. Tian

X. Chu

P. K.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 3697 - 3700

NÚMERO

Volumen: 74 Número: 8 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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