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ARTÍCULO
TITULO

Hybrid evaporation: Glow discharge source for plasma immersion ion implantation

Li    
L. H. Poon    
R. W. Y. Kwok    
S. C. H. Chu    
P. K. Wu    
Y. Q. Zhang    
Y. H.    

Resumen

No disponible

PÁGINAS
pp. 4301 - 4304
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